Аналитический сканирующий электронный микроскоп TESCAN VEGA
TESCAN VEGA поставляется с режимом SingleVac™ в стандартной комплектации. Режим SingleVac™ воспроизводит предустановленное на фабрике фиксированное значение давления внутри камеры для возможности исследования непроводящих образцов без напыления их токопроводящим слоем. Режим SingleVac™ может сопровождаться опциональным режимом UniVac™ для непрерывной регулировки давления в камере (до значения вплоть до 500 Па) для получения изображений во вторичных и отражённых электронах от сильно заряжающихся, газящих или чувствительных к пучку электронов образцов.
TESCAN Essence™
- Настраиваемый графический интерфейс
- Многопользовательский интерфейс с учетными записями с настраиваемым уровнем доступа
- Панель быстрого поиска окон интерфейса
- Отмена последней команды / Возврат последней команды
- Отображение одного, двух, четырех или шести изображений одновременно в реальном времени
- Многоканальное цветное живое изображение
Автоматические и полуавтоматические процедуры
- Контроль эмиссии электронного пучка
- Нагрев электронной пушки
- Центрирование электронной пушки
- Центрирование электронной колонны
- Контроль вакуума
- Автоматическая диагностика
- Автоматизация всех этапов юстировки
- Авто контраст/яркость, автофокус
- In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени)
Программные модули Essence™ (* – опционально)
- Измерения (расстояния; периметры и площади кругов, эллипсов, квадратов и полей неправильной формы; экспорт измерений для статистической обработки и другие функции), контроль допусков
- Обработка изображений (коррекция яркости/контраста, улучшение резкости, подавление шумов, сглаживание и увеличение чёткости, дифференциальный контраст, коррекция тени, адаптивные фильтры, быстрое Фурье-преобразование и др. функции)
- Предустановки
- Гистограмма и шкала оттенков (LUT)
- SharkSEM™ Basic (удалённый контроль)
- Позиционер (навигация по образцу в соответствии с шаблоном, в качестве которого может выступать СЭМ-изображение, изображение с оптического микроскопа, фотография образца)
- Таймер выключения
- Площадь объекта (выделение на снимке объектов с близким уровнем серого и измерение площади, занимаемой этими объектами)
- CORAL™ (корреляционная микроскопия для удобной навигации и совмещения СЭМ-снимков со снимками сторонних устройств, например, с оптических микроскопов) *
- Сшивка изображений (автоматический процесс накопления изображений и их сшивки) *
- Обозреватель образца для создания видеоряда из серии СЭМ-снимков, автоматически накопленных через заданные промежутки времени *
- SharkSEM™ Advanced (создание пользовательских алгоритмов, библиотека скриптов Python) *
- Расширенная самодиагностика *
- Программа-клиент Synopsys (расширение модуля Позиционер, которое совмещает данные макета из внешнего ПО Avalon MaskView c изображениями СЭМ или FIB через удаленное соединение; в основном предназначено для анализа неисправностей полупроводниковых устройств) *
- TESCAN Flow™ (обработка СЭМ-данных в режиме offline) *
- 3D-модель схемы коллизий (интеграция стороннего оборудования в схему коллизий зависит от наличия для него модели 3D CAD)
Информация для заказа| Область использования: | Производство: | --- | | Метод: | | | Объем: | шт | | Кат. номер: | VEGA | | Цена (с НДС 20%): | по запросу | В корзину  | Наименование: Аналитический сканирующий электронный микроскоп TESCAN VEGA.
Примечание: |
|
